產品介紹

特征

• 較為緊湊的安(an)裝尺寸和較輕的重(zhong)量

與傳統的殘余氣體分析儀相比，尺寸較小，這使它容易(yi)整合到您(nin)的系(xi)統之中。

• 高(gao)性能

在只占傳統電極一(yi)小部分的體積里，微型(xing)化的九電極排列提供了良好的靈敏度。

• 高壓力條(tiao)件(jian)下可(ke)使用

可(ke)以在高于0.9Pa（7mTorr, 9 x 10^-3mbar）的壓力條件下使用(yong)(yong)，在(zai)許(xu)多(duo)需(xu)要(yao)昂貴真(zhen)空(kong)泵的應用(yong)(yong)當(dang)中，可以簡化或者省(sheng)略泵的使用(yong)(yong)。

• 已經(jing)校準過的可替換傳感器接頭

此(ci)傳感器接(jie)頭在出貨(huo)之(zhi)前(qian)已經進行(xing)過(guo)預(yu)調諧和校(xiao)準(zhun)。允(yun)許客(ke)戶(hu)自己(ji)在現場進行(xing)傳感器的(de)更(geng)換。

• 網絡傳感器(qi)

升級到八電極(ji)后，可以通(tong)過一臺使用RS485接口的電(dian)腦進行(xing)監測(ce)。此系統也可以通(tong)過以太網進行(xing)遠程監測(ce)。

• 用戶友好軟件

微電極掃描軟件允許用(yong)戶用(yong)各種不同的方(fang)式監測氣體的部分壓力(li)，如趨勢曲(qu)線(xian)圖(tu)(tu)，相似性曲(qu)線(xian)圖(tu)(tu)，泄露模式，條(tiao)形(xing)統計圖(tu)(tu)，3D等

• 監測控制

可(ke)(ke)選擇性的(de)監測(ce)控制(zhi)器(qi)可(ke)(ke)以安裝(zhuang)在反(fan)應室的(de)光譜發生器(qi)上，使用(yong)戶無(wu)需電腦可(ke)(ke)以監測(ce)真空反(fan)應室。

■測量原理

殘余氣體分析儀是由一個離子源，一個質量分光儀和一個監測單元組成。當殘余氣體與從高溫金屬絲釋放的熱電子碰撞后，它將被離子化。并且，這些因此產生的離子會加速會合到質量能譜儀上。在質量能譜儀上內，直流和交流電壓被應用到四個圓柱形的電極上（方形排列），從而讓離子因質量的不同而被分離開。這些被分開的離子通過法拉第杯作為直流電被發現。這種離子電流是與殘余氣體的質量成比例的。