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產品詳細(xi)頁(ye)
韓國NanoSystem非接觸表面輪廓儀
- 產品(pin)型(xing)號：NV-2400
- 更新時間：2023-03-20
- 產(chan)品(pin)介紹：韓國NanoSystem非接觸表面輪廓儀型號：NV-1800/NV-2400/NV-2700韓國NanoSystem非接觸光學表面形貌測量系統
- 在線留言 86-21-54933058/54933060/54933358/54182486/28097339
產品介紹
韓國NanoSystem非接觸表面輪廓儀
型(xing)號：NV-1800/NV-2400/NV-2700
韓國NanoSystem非(fei)接觸(chu)光學表面形貌測量系統
高精度非(fei)接觸式表面形貌檢測(ce)
無損3D表面輪廓分析
宜用平臺(tai)提供快速、高效(xiao)的(de)工藝流(liu)程的(de)監(jian)控
全(quan)面、直觀的軟(ruan)件提供了式樣和(he)應用靈活性
主要(yao)功能(neng)
3D形貌測量
高，深，間隔（從納米級(ji)到(dao)5mm）
粗糙度(du)（R參數）表(biao)面（S參(can)數）
面積(ji)(ji)信息(xi)（體積(ji)(ji)，面積(ji)(ji)）
2D測量(liang)
NanoView可靠(kao)性在(zai)許多應用領域發揮性能。
NanoView 提供完整的表面形貌納(na)米測量和分析(xi)技術(shu)方案。
韓國NanoSystem非接觸(chu)表面(mian)輪廓(kuo)儀(yi)
NV-Serise技術(shu)參數(shu)
型號 | NV-1800 | NV-2400 | NV-2700 |
測量原理 | 非接觸三維 白光掃描干涉法（WSI）/移相干涉法（PSI） | ||
現場放(fang)大鏡 | 1.0×（標配） | 1.0×（標配） | 1.0×（標(biao)配） |
物(wu)鏡 | 單鏡頭 | 可選5個鏡(jing)頭（手動鼻輪） | 可選5個鏡頭(tou)（自(zi)動鼻輪(lun)） |
光源(yuan) | 白光LED光源 | ||
掃(sao)描方式 | 閉環控制壓電(dian)促(cu)動掃描方(fang)式 | ||
縱向掃描范(fan)圍(wei) | Max 270um（可拓展到：5mm） | ||
縱向掃描速(su)度(du) | ≤12um/sec（1X~5X倍率可選） | ||
傾(qing)斜 | ±3°（樣品臺傾斜） | 頭部傾斜±5°（手動模式） | 頭部傾斜±5°（自動模式） |
縱向分(fen)辨率 | WSI:＜0.5nm / PSI:＜0.1nm | ||
橫向分(fen)辨率(lv) | 0.2~4um（取決于(yu)物鏡/視(shi)場放(fang)大鏡倍率） | ||
臺階重復性(xing) | ＜0.5%（1s） | ||
XY樣品臺行程 | 140×140mm（手動） | 230×230mm（自(zi)動） | 230×230mm（自動） |
XY樣品臺行(xing)程 | 50×50mm（手動） | 100×100mm（手動） | 100×100mm（自(zi)動） |
Z軸行程 | 30mm（手動） | 100mm（手動） | 100mm（自動） |
環境(jing)要(yao)求 | 溫度：15~30℃，溫(wen)度變(bian)化量：＜1℃/15min 濕度：＜60%，無凝結 | ||